扩散泵返油怎么办?如果真空规管没有损坏，返油一般是不需要修理的，主要清洗真空室内扩散泵的油。最好使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。油一定要清干净是最关键的，如果室内还有油的存在，就会出现镀白膜，膜层质量很不好等现象，并不是因为电镀设备的损坏，而是因为真空室有油。

扩散泵经常返油可能是以下问题：

1、冷却水路不通畅或水压不够，导致冷却能力下降，扩散泵上半部分变热，油蒸汽不能良好液化。解决办法将扩散泵进水管接以4mpa的气源，吹出水垢，接出水管同样以4mpa吹。若水垢结的很多并且牢固，可通入稀盐酸。或者更换扩散泵。

2、加热温度过高，由于扩散泵加热器功率与额定功率不符，过高，造成蒸汽量大，可造成返油，更换电炉丝可解决。

3、加油量过高，加油量高容易导致蒸汽量循环缓慢，向下级压缩时滞留，造成返油，根据厂家提供信息进行加油量的控制可避免。

4、油氧化，扩散泵油氧化后，粘稠度和蒸汽流都受到影响，达不到喷射速度，自然就返到真空室内。可讲扩散泵拆下，将泵心取出，用120#汽油进行清洗，然后打磨，将结碳和黑色氧化层打磨掉，再次用120#汽油清洗、晾干，然后安装，倒入扩散泵油或硅油，加热几次以后才可以投入工作。防止污染工件。

5、若扩散泵服役时间超过8-10年，或在恶劣的环境下使用，可考虑更换。提高工作效率及维护成本。