余摆线型转子在泵腔内作行星运动，使工作室容积周期性变化以实现抽气。在泵腔内各运动件表面间用油膜密封，所以余摆线真空泵时一种油封式机械真空泵。它主要由泵体和转子构成。转子的型线为余摆线，泵腔型线为转子型线的外包络线。转子上的内齿轮与固定在泵盖上的小齿轮啮合。

当转动轴旋转时，偏心轮即带动内齿轮绕小齿轮作行星运动，泵体点永远与转子表面接触，将泵腔分隔为A和B室。转自逆时针方向旋转，A室内压力逐渐降低，气体从吸气口不断被吸入，同时B室内的气体逐渐被压缩，通过排气阀排出泵外。

从结构原理和使用性能来看，余摆线泵与同类型泵相比有很多优点：

1、运转平稳、振动小、尺寸小、抽速大；

2、在低压范围内（1-100pa)其抽速野性曲线由于滑阀泵；

3、对被抽气体中含有一定量的粉尘及小颗粒等不太敏感；

4、适应较高温度的工作环境，可通过温控装置使泵腔保持较高温度，以抽除大量的可凝性水蒸汽。

由于余摆线泵在1-10pa压力范围内仍具有很大的抽速，因此该泵适用于真空行业中的大排气量装置。目前已在真空冶金、真空热处理、真空干燥等行业中得到应用。