一、真空泵使用

1、过70度。至干抽速的测定.由干比较复杂，一般不作检查。

2、需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水，然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。

3、连续真空泵与被抽系统的管道应尽可能短而粗，管道内径一般应不小干真空泵进气口直径，以避免由干管道阻力而影响抽气速率。

4、为保持工作室内清洁卫生，有利干工作人员的身体健康，应用皮管将排出的气体直接引到室外。

5、真空泵长期未工作或环境温度较低时，可能引起起动困难，这时应使真空泵的抽气口通大气，用丰转动皮带轮（不贾接电源入使真空泵旋转数周后再起动。若是直接联真空泵，可继续动电动机数次，将真空泵腔内的存油排入油箱，即可起动。若然不行，可用辐射加热或红外灯对真空泵直接加温，直到能动为止。

6、使用前，检查机械真空泵油是否到视窗的油标线位置。同时，必须检验电动机皮带轮的旋转方向。观察者正对皮带轮，皮带轮应按顺时针方向旋转，若反方向旋转时，可把相电源中任意二相接头对换一下即可。否则，旋片真空泵不起抽气作用反而会把真空泵油和大气打入被抽系统，造成严重污染。

7、工作结束后.应先关高真空阀，后关低真空阀.再停旋片真空泵，然后对其放气（如使用电磁真空带放气阀，可以自动放气）以防止油返回到真空系统，最后切断总电源.停水。

8、要注意防止坚硬物质（金属屑、玻璃碎片等）落入真空泵内，划伤真空泵的运动部件。真空泵长期停止使用时，应存放在干燥、请洁的环境中，并将抽气口和排气口堵死，防止污物落入。

9、拆洗和装配机械真空泵时必须注意不要碰伤密封面，不要损失螺钉，清洗干挣的部件要吹干或供干（温度不宜过高、时间不宜过长。装配时真空泵壁抹上少量油脂，尽可能捎除死空间，油量以油线为淮，过量会喷油。

二、真空泵的维修

旋片真空泵长期使用后，会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染严重、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象，此时必须对真空泵进行拆洗。其步骤为，

1、切断电源，将真空泵从真空系统上卸下，

2、用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境；

3、卸下皮带、皮带轮积键（双级旋片真空泵包含皮带）;

4、先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等；

5、将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等；

6、取下视镜、排气阀、排气盖等；

7、将所拆下的金属零件用汽油彻底清洗干净，并用酒精脱水。橡胶零件可用15%的氢氟化钠水溶掖煮沸去油。对有毛刺或生锈的零部件.可用油石或金相砂纸轻轻地研磨，以去除锈斑和毛刺。清洗后的零部件必须烘干；

8、装配时，先装后级，将弹簧、旋片托起装入转子内，然后放入真空泵腔.装上前端盖.再装定位销.均匀对称地拧紧螺钉。装配后.应保证转动灵活、均匀。装好前级转子及后端盖后，再装排气阀（排气阀片应贴紧阀座）及其它件，如气镇装置等。

维修真空泵注意事项：

1、应定期检查油位是否低干油标线。如低干油标线，应及时加油，杏则.会影响真空泵的真空度。油量也不宜过多，否则会引起起动困难，喷油等问题。

2、应经常注意真空泵运转是否正常，有无特殊声响，机是否超负荷运转，电机积真空泵的温开是否过高等。

3、用水冷却的真空泵，应防止冷却水中断，真空泵温不得超过70度。若环境温度低干5度，停机后应将真空泵内冷却水放净，以防真空泵体冻裂。

4、真空泵应经带保持清洁，真空泵上不得放置其它物件。

5、注意皮带松紧是杏适当.必要时应调整或更换。

6、应每年定期更换了1~3次真空泵油）。真空熔炼用的机械真空泵，每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中，真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化，影晌真空泵的性能，因此，需要根据具体情况定期换油。

三、更换真空泵油方法

1、重力法将容器放在放油口下方，旋下放油口螺钉，让真空泵内旧油自动地流到容器里。旧油放尽后，从抽气口注入少量的干净真空泵油（100~500mL），冲洗真空泵腔内部，接着，开动真空泵运转1min左右，再关真空泵，将注入的新油放出。若放出的油仍不干挣，应继续注入新的杂油冲洗，直到干净为止。然后，旋上放油螺钉.拧下加油孔上的螺钉，向真空泵内加入亲的真空泵油，使油面达到油标线，再旋上加油螺钉。

2、加压法将容器放在放油口下方，旋下放油口螺钉。关闭抽气口，同时开启真空泵，打开气镇阀和遮盖真空泵的部分排气口，以产生一个足够的内部压强，使脏油迅速地放出。然后，按方法（1）冲洗真空泵腔内部，换新油

换真空泵油注意事项：

1、应注意清洁，严防脏物混入真空泵内。

2、开动真空泵不宜时间过长，以免排气阀片跳动过干剧烈而疲劳。

3、严禁用媒油、汽油、酒精等对真空泵进行非拆卸的请洗。

4、换油最好在油温升高后进行，以便使真空泵内脏油流尽。

四、拆洗机械真空泵的注意事项

1、拆装、清洗机械真空泵应在请洁的室内进行。拆洗时.应注意各部件、零件的原装配位置、方向及组合松紧，并作好记录或记号，以免装错；

2、在取出旋片和转子时，注意一定要用手捍紧旋片，因旋片受弹簧力较大，一不小心容易脱手飞出，碰伤旋片棱角及衷面而不能使用。

3、拆下的零部件应分开，妥善处理，不可乱放乱堆，否则，容易互相碰伤或丢失。

4、装配时，应先在转动部位的表面上涂少量真空泵油、进行润滑。注意请洁，严禁铁屑、泥砂及尘埃等落入真空泵内，定位销要接触良好。装好的真空泵应转动轻松，无轻重不均及阻滞现象。

5、总装完后，从加油孔加入真空泵油至油标线为止。

6、开机前，应向抽气口注入少量真空泵油，使真空泵内充分得到润滑。

重新装配的真空泵应进行几个小时的运转试验，以观察是否达到使用要求。

五、真空泵故障原因及排除方法

1.真空度不高

（1）真空泵温太高，1.被抽气体温度过高。应让气体冷却后再进入真空泵内，2.吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换，3.真空泵冷却水流最不够。应加大冷却水流量，4.装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。

（2）真空泵油有问题，1.油位过低。应加足油量到油标中心线，2.油被沾污，油质变坏。应更换新油，3.油的牌号不符。应换规定牌号的真空泵油，4.油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。应检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。

（3）真空泵本身漏气：1.密封圈漏气。应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈，2.气镇阀垫圈损坏：或未拧紧。应更换垫圈并拧紧气镇阀；3.排气阀片损坏，密封不好。应更换气阀片；4.真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。应修整真空泵腔或更换，5.由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。应拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。

（4）转子弹簧变形或折断及旋片动作不灵。应整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好，

（5）进气口的过滤网被堵塞。应取下过滤网清洗干净，再装上去，

（6）因加工不良或磨损造成配合间隙过大。应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。

（7）真空泵运转中摩擦发热.温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。应通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。

电机、真空泵运异常电机超负荷运转、真空泵在运转中异常杂音、噪声、转动困难或发生“卡死”现象。

（1）真空泵温太高，可参照1款（1）项处理，

（2）弹簧变形或断裂，使旋片受力不均匀而发出冲击声；应更换弹簧；

（3）装配不当，造成单面磨损，应重新装配；

（4）过滤网损坏，金属屑、玻璃屑等落入真空泵内，使运转发生障碍。应拆真空泵检查、清除碎屑，修复或更换磨损部件，并装好过滤网，

（5）真空泵腔内污染严重，导致零件锈蚀。应拆真空泵请洗，去除锈斑，并换油，

（6）真空泵油变成乳浊状.粘度增大。应更换新的真空泵油，

（7）真空泵腔、轴和轴套配合过紧，紧成润滑不良。应重新装配并疏通和调节油路，加强润滑，

（8）电机有故障而产生噪声。应检修电机或给轴承加上润滑黄油。

真空泵漏油、喷油

（1）转轴、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈损坏或装配不正确。应仔细检查并更换玻损的密封圈，装配螺时，用力要均匀，

（2）因前后端面不平整或端板未压紧，造成端面漏油。应将端面修平并压紧前后端板；

（3）进气口压强过高。应设法减少进气量，

（4）箱体有漏孔。应检查谓孔部位并堵死，

（5）油量过多产生喷油，应放出多余的油，

（5）排气盖下面的挡油网装反引起喷油，应重新装挡油网；

（7）突然暴露大气引起喷油。应立即关闭低真空阀。

真空泵起动困难

（1）真空泵已返油，用手扳动皮带轮旋转数周，即可起动，

（2）由于长期不运转或停机后未放入大气，使真空泵腔内充满真空泵油。用手扳动皮带轮旋转数周，即可起动，

（3）油温太低，应给油加温或让室内温度保持在15度以上，也可以用手扳动皮带轮旋转数周，再继续通电运转数分钟，即可正常工作

（4）油已变质，应更换新的真空泵油，

（5）电源缺相，应检修电源。