所谓真空热处理是工件在10-1~10-2Pa真空介质中进行加热到所需要的温度，然后在不同介质中以不同冷速进行冷却的热处理方法。真空热处理被当代热处理界称为高效、节能和无污染的清洁热处理。

真空热处理的零件具有无氧化，无脱碳、脱气、脱脂，表面质量好，变形小，综合力学性能高，可靠性好（重复性好，寿命稳定）等一系列优点。因此，真空热处理受到国内外广泛的重视和普遍的应用。并把真空热处理普及程度作为衡量一个国家热处理技术水平的重要标志。真空热处理技术是近四十年以来热处理工艺发展的热点，也是当今先进制造技术的重要领域。

既然真空热系统这么重要，今天就来给大家讲述真空泵热处理要注意的几点：

1、真空泵处置钛合金时不宜用氮气作为冷却气体，由于钛和氮在高温下反响，构成金黄色的氮化钛。

2、真空泵活动衔接局部全部采用O型橡胶圈密封衔接，此局部均通水冷却。

3、真空泵工件在真空状态下淬火，应运用真空淬火油，此油具有较低的饱和蒸气压。

4、真空炉的颐养应在真空或充纯氮状态下，防止平常不用时吸气吸潮。

5、国内真空炉的压升率应不大于1.33Pa/h ，国外某些企业的规范为0.67Pa/h。

6、真空加热以辐射为主，工件在炉内应该坚持间距。

7、真空泵升温过程中工件及炉内资料会放气，使真空度降落。

8、真空回火、真空退火、真空固溶处置及真空时效的加热温度普通与常规处置时加热温度相同。

9、真空回火炉应该具有快冷安装。冷却水的压力应该大于0.2Mpa流量应可调。

10、冷却气体：钢普通采用百分之99.995纯度的氮气，高温合金采用百分之99.999的氮气或氩气，钛合金采用百分之99.995的氩气。

11、真空泵放入工件后，普通先预抽至6.67Pa时方可升温加热。