1、工作蒸汽及其干度

蒸汽压力偏低及压力波动均对真空泵的能力有较大影响，因此蒸汽压力不应低于要求的工作压力，但所用真空泵结构设计已定型，过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。另外，要确保锅炉供给的蒸汽压力稳定，最好用一台锅炉专门给蒸汽喷射泵提供工作蒸汽，这样蒸汽压力就不会出现波动，真空泵性能稳定。

蒸汽的干度对真空泵的性能也有较大影响，其中含水会引起真空波动，含水过多甚至会抽不起真空，通常的作法是在汽包前加装汽水分离器以获得干度较高的工作蒸汽，同时对蒸汽管路进行有效保温。为取得最佳的工作效益，为喷射真空泵提供的工作蒸汽应为5℃～10℃的过热蒸汽。特别是五级泵，对蒸汽的品质要求非常高，含微量水分都可能引起喷嘴的冰塞，造成开第五级喷射器真空度反而下降或没有作用。

2、循环冷却水

冷却水供量不足，冷凝器会发热，气流声音变大，真空度迅速下降，甚至蒸汽会返入抽气管。对于列管间冷式冷凝器，应保证供水压力为0、2MPa，供水量应比实际的用量稍微大一点，这样用水的波动会比较平稳。另外，为避免供水量不稳定而引起真空波动，中环真空泵认为最好采用单独的循环水系统对真空泵的冷凝器进行供水。

冷却水温太高，真空泵能力会下降，有时甚至抽不起真空，一般不超过32℃。另外，冷却水温越高，耗用的蒸汽量越多。
冷却水质对真空泵能力的影响也是一个不可忽视的因素，如果水质差，硬度高，会造成冷凝器积垢甚至堵塞，严重影响热交换性能，使蒸汽难于冷凝，从而影响真空度。所以，应保证循环冷却水为纯净的软化水。

3、真空泵系统密封要求

真空泵处于极限状态时，第1级排出的水很少，有时甚至没有。因此，第1级泵有大量水排出，可以认为是系统有泄漏。通常的漏气原因有：垫片没装、装错或损坏，螺栓未拧紧，法兰面损坏，焊缝有沙眼，接头(压力表、真空表等)未装好。
最通用的查漏方法是整个系统通入带压空气，用肥皂水涂在各处。如有泄漏，漏点会有气泡，有时甚至能听到泄漏的声音。检验是否漏气的最终要求是，用0、2MPa压缩空气对真空系统(包括泵体和大气腿)进行汽密性试验，24h压力下降量不超过4、8%。

4、喷嘴

喷嘴是影响真空泵性能的重要部件，其存在的问题有：喷嘴装错、装歪、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏，不管采取何种预防措施，喷嘴的堵塞在所难免。一方面由于安装蒸汽管道时，管道中残存的铁屑及焊渣会堵塞喷嘴；另一方面，真空泵系统停用时，蒸汽管道易生锈，锈斑在使用时掉落堵塞喷嘴。一般来说，第1、2级喷嘴孔径较大，不易堵塞，最易堵塞的是第3、4、5级的喷嘴，喷嘴是否堵塞可通过触摸泵头和冷凝器的温度来确认。