真空泵在真空体系中所承担的作业任务

发布时间: 2020-09-17 浏览量: 3313

因为各种真空泵的功能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外,尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空体系中所承担的作业任务是十分重要的,泵在各种不同作业领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面

1)在体系中做主泵

所谓主泵就是对真空体系被抽容器直接进行抽真空,以取得满足工艺要求所需真空度的真空泵。

2)粗抽泵

粗抽泵是指从大气压开端下降真空体系压强到达另一抽气体系可以开端作业的真空泵。

3)前级泵

前级泵是指用于使另一个泵的前级压强保持在其最高许可的前级压强以下的真空泵

4)保持泵

保持泵是指当真空体系抽气很小时,不能有用的使用主要前级泵。为此,在真空体系中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来保持主泵的正常作业或保持已抽空的容器所需的低压的真空泵。

5)粗真空泵或低真空泵

粗、低真空泵是指从大气开始,降低被抽容器的压强后作业在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。

6)高真空泵

高真空泵是指在高真空规模作业的真空泵

7)超高真空泵

超高真空泵是指在超高真空规模作业的真空泵

8)增压泵

增压泵通常指作业在低真空泵和高真空泵之间,用以提高抽气体系在中间压强范围的抽气量或下降前级泵抽气速率要求的真空泵



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