发布时间: 2021-07-26 浏览量: 2701
(1)在较宽的压力的范围内有很大的抽速;
(2)转子都具有优良的几何图形对称性,故震动小,运作稳定。转子间及转子和外壳间均有空隙,无需润滑,摩擦损失小,可大幅度降低驱动功率,进而可实现较高转速;
(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可降低油蒸气对真空系统的环境污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构类型简洁明了、紧密,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
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