低真空装置如真空运输、真空浸渍、真空过滤、真空单调、真空脱气（钢水处理）等要求具备作业压力高、排量大的低真空泵抽气机组，这种低真空抽气机组主泵常见往复式真空泵、油封式真空泵、水蒸气放射泵、水环泵、罗茨泵等。使用的低真空抽气机组还需依据被抽气体清洁情况、湿度或其它特殊要求，配备必不可少的除尘设备、单调罐等零部件。

    水蒸气在压缩流程中会凝聚成水滴，并与泵混和组成悬浮液，不仅会使真空度降落，也可以使泵腔与转子生锈，破坏密封面，使泵的极限真空度降落。因此，防止水蒸气对机械泵的污染很重要。防止的措施有：

（1）选用带有气镇装置的油封机械泵；

（2）装油分别器、离心式分别器或油水分别器，将混存水的机械泵油中止处理，处理过的油再流入泵中使用；

（3）使用吸水性强的单调剂；

（4）使用液氮冷阱，不但可以合理有效地吸附水蒸气，与此同时还能够阻拦机械泵油向高真空室返流。