真空设备维修保养的关键点：

维修真空设备的关键点是辨别故障问题。一般情况下是真空抽不上来，原因可能有几个，一定要弄清楚是什么缘故，或许是真空机组的抽气能力不足，也可能是漏率偏高，又或者两种有可能都有。这个时候，应该细心耐心观察和记录，从中找到故障问题。比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这个时候关闭主阀，如真空计指针迅速下降，多数情况是真空室漏了，这个时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不足，这个时候可将重点放在查找真空泵及阀门的问题上来，看是哪里出现了泄露，或是扩散泵油污染了，氧化了；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵油乳化，轴封漏油等故障问题。

一、检测漏率：

（1）真空设备漏点和微漏点的查找

（2）漏和外漏的查找

二、故障问题点的处理

三、维修保养时要注意的环节