1、真空泵的蒸气容许量:

蒸气的容许量单位是kg/h，它是指泵在畸形条件条件下，气镇泵在陆续作业时能抽除的蒸气品质流量。

2、真空泵的抽气速率：

泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有规范尝试罩，并按规程条件作业时，从尝试罩流过的气体流量与在尝试罩指定地位测得的失调压强之比。简称泵的抽速。

3、真空泵的极限压强:

泵的极限压强单位是Pa，是指泵在出口处装有规范尝试罩并按规程条件作业，在不引入气体畸形作业的状况下，趋势稳固的最工业气压强。

4、真空泵的返流率:

泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规程条件作业时，经过泵出口单位面积的泵流品质流率。

5、真空泵的抽速系数：

泵的理论抽速与泵出口处按分子泻流划算的实践抽速之比。