一、滑阀式真空泵概述

滑阀式真空泵，全称滑阀式油封机械真空泵，简称滑阀泵，同旋片泵一样，是一种变容积式气体传输泵，其应用范围和使用条件也与旋片泵基本相同。

滑阀式真空泵由于其结构特点，容量比旋片式真空泵大得多，因此更多地应用与大型真空设备上。滑阀式真空泵的基本类型也分为单级与双级两种类型。其中单级泵中的小泵极限压力一般不大于0.6Pa，大泵大不大于1.3Pa（均关气镇）；双级泵的极限压力不大于0.06Pa（关气镇）。抽速大于150L/s的滑阀式真空泵多采用单级形式。

由于滑阀式真空泵旋转质量有较大偏心，没有好的质量平衡，在运转时会产生较大振动。同时由于滑阀泵的旋转质心运动轨迹是复杂的封闭曲线，因此很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。这就限制了滑阀式真空泵的转数，一般控制在350～600r/min，个别的可达到1000r/min以上。

二、滑阀式真空泵的工作原理与结构

1、滑阀式真空泵的工作原理

滑阀式真空的主要结构包括泵体、偏心轮、滑阀组件和导轨等，干式螺杆真空泵厂家珂勒曦以图例的方式为大家展现其简易工作原理。

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图一：简易滑阀式真空泵工作原理图

如图，与泵腔同心的驱动轴带动偏心轮旋转，偏心轮带动滑阀环运动，使滑阀杆在导轨上下滑动和左右摆动。滑阀将泵腔分成A、B两个部分。当驱动轴按图中所示方向转动时，A腔容积增加，压力降低，气体经入口、滑阀杆（A腔一侧开口）进入A腔，此时处于吸气过程。滑阀继续顺时针向左上位置运转，A腔容积达到最大时，进气口与A腔隔绝，吸气过程结束，与此同时，B腔容积处于不断的减小、压缩气体的过程。当B腔气体压力达到排气压力时，推开油封的排气阀，开始排气。当滑阀处于正上方的位置时，排气结束（A腔容积也处于最大），新一轮的循环过程开始。

2、滑阀式真空泵的结构特点

如图一所示，滑阀式真空泵的主要结构包括了泵体、偏心轮、滑阀环、滑杆、导轨等一系列组件。与旋片式真空泵类似，滑阀泵也设有气镇阀，气镇孔开在排气口附近或端盖上，以排除含可凝性蒸气的气体，并在泵出口设置有油气分离器，减少泵油的损耗和对环境的污染。

下图是典型的滑阀式真空泵结构图。

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典型的滑阀式真空泵结构图

除了单双级的区分外，滑阀式真空泵还有单缸、双缸、三缸的区分，其中三缸滑阀泵较好地解决了滑阀的质量平衡，使泵的振动得到了较好改善，转速也相对较高。

三、滑阀式真空泵的应用要点

滑阀式真空泵与旋片式真空泵一样可单独使用，同时也可作为扩散泵、油增压泵、罗茨泵等真空泵的前级泵使用，与旋片泵相比滑阀泵更为耐用，在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、分子蒸馏、航空模拟实验的领域使用较多。但在遇含水蒸气、粉尘等介质环境，需加装过滤装置，也无法用于易燃易爆气体环境以及压缩输送气体。同时受限于油封式机械真空泵的特点，在一些清洁环境领域，如半导体、石化等，适用性不及一些干式真空泵。

四、滑阀式真空泵噪声来源和解决方法

 机械撞击噪声是滑阀泵噪声的主要成分。滑阀泵在正常运转过程中，滑阀与泵体内壁（进气侧的大、小缸交接处）会发生机械撞击而产生强烈的机械撞击噪声。影响机械撞击噪声的因素：泵体与滑阀环之间的间隙、偏心轮与滑阀环之间的间隙、泵轴心与泵体大缸中心的偏移量等。在设计上通常会调整撞击部位的间隙，减轻甚至消灭撞击，从而降低滑阀泵的机械撞击噪声。

1、液体撞击噪声、气液排放噪声是泵噪声的重要成分。

滑阀泵在压缩过程中，滑阀带动泵油高速冲向排气孔附近的泵缸内壁和滑阀杆，产生强烈的液体撞击噪声。并且在滑阀泵排气过程中由于润滑油和气体高速通过排气流道时会产生强烈的气液排放噪声。这两种噪声在滑阀泵排气末段时最为明显。要降低这二种噪声，在设计时可以选择较低的转速，较小的泵缸内径，以此来降低液体撞击时的速度和气液排放速度，有利于降低噪声；在泵正常运转时，减少进油量泵，以此来减少撞击泵内壁的油量和排放的油量，有利于降低噪声。气液排放噪声还可以通过改进排气阀的流道，尽量增大通道面积，降低润滑油通过排气阀时的速度，有利于降低噪声。

2、轴承噪声在滑阀泵噪声中不常见。

滑阀泵转速较低，轴承润滑充分，轴承正常运转时发出的声音极低。轴承噪声主要指的是轴承不运转正常时发出的噪声。当滑阀泵内的轴承因加工、运输和安装过程中受伤害而存在缺陷，在正常运转时，轴承会发出异常的“嗒嗒嗒”的声音，这种噪声频率较低、声强较弱，但明显可闻。

3、汽蚀噪声在滑阀泵噪声中很少见到。对于中、大型的滑阀泵而言，泵的转速不宜选取太高，否则容易出现汽蚀现象，降低泵的寿命。

4、油箱也是影响滑阀泵噪声的一个因素。

钢板焊接油箱容易引起振动；铸铁油箱不易产生振动，并且铸铁本身有吸声效果，所以使用铸铁油箱可使泵的噪声低2~3 分贝（A）。油箱内置的油气分离器在不影响排气压力的情况下，可适当增加阻挡，增强消声效果，如此也可以使泵的噪声低1~2分贝（A）。