真空泵长期使用后，会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染严重、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象，此时必须对真空泵维修、拆洗。

其步骤为，

1、切断电源，将真空泵从真空系统上卸下，

2、用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境;

3、卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);

4、先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等;

5、将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等;

6、取下视镜、排气阀、排气盖等;

7、将所拆下的金属零件用汽油彻底清洗干净，并用酒精脱水。橡胶零件可用15%的氢氟化钠水溶掖煮沸去油。对有毛刺或生锈的零部件.可用油石或金相砂纸轻轻地研磨，以去除锈斑和毛刺。清洗后的零部件必须烘干;

8、装配时，先装后级，将弹簧、旋片托起装入转子内，然后放入真空泵腔.装上前端盖.再装定位销.均匀对称地拧紧螺钉。装配后.应保证转动灵活、均匀。装好前级转子及后端盖后，再装排气阀(排气阀片应贴紧阀座)及其它件，如气镇装置等。

另外，真空泵维修注意事项如下：

1、应定期检查油位是否低干油标线。如低干油标线，应及时加油，杏则.会影响真空泵的真空度。油量也不宜过多，否则会引起起动困难，喷油等问题。

2、应经常注意真空泵运转是否正常，有无特殊声响，机是否超负荷运转，电机积真空泵的温开是否过高等。

3、用水冷却的真空泵，应防止冷却水中断，真空泵温不得超过70度。若环境温度低干5度，停机后应将真空泵内冷却水放净，以防真空泵体冻裂。

4、真空泵应经带保持清洁，真空泵上不得放置其它物件。

5、注意皮带松紧是杏适当.必要时应调整或更换。

6、应每年定期更换了1~3次真空泵油)。真空熔炼用的机械真空泵，每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中，真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化，影晌真空泵的性能，因此，需要根据具体情况定期换油。