真空泵广泛应用于医疗医药、半导体、机械化工、低温设备、电子、冶金、石油矿山等领域，其相关技术也得到了飞跃发展。在真空泵应用过程中，因生产工艺的不同真空泵会受到不同程度的腐蚀，若防护措施不当，常会因真空泵腐蚀而造成停产。因此，真空泵防腐是目前生产中延长真空泵使用寿命迫切需要解决的实际问题。

2007年开始，全球真空泵相关专利申请数量开始加快增长，中国、日本是全球真空泵防腐相关专利的主要受理国家，但是国内专利权未形成明显的技术竞争优势，且专利保护区域较局限，在国外申请了保护的却寥寥无几。

真空泵的三大防腐技术

目前国内真空泵防腐技术主要针对的是罗茨真空泵、水环真空泵、蒸汽真空泵、液环真空泵、隔膜真空泵、涡轮分子泵等，采用的防腐技术主要包括三种：

一、通过在真空泵表面涂覆一层防腐蚀涂层，如三氟氯乙烯防腐层、特氟龙涂层、耐腐蚀的氧化层或氮化层、耐腐蚀耐候油漆等；

二、防腐材料的改进，常用的涂层材料有不锈钢、锡青铜、硬质合金等金属材料，天然橡胶、磷片、人工合成橡胶、陶瓷、塑料等非金属材料，精密陶瓷、有机高分子或者耐温耐腐耐磨高分子材料等新型材料，其中高分子材料有氟塑料、聚乙烯、聚氯乙烯等；

三、对泵的结构改造，如泵体上部安装气室，安装上置式耐腐蚀气水分离器。

干式螺杆真空泵虽然国内企业投入较少，但因其可应用于纯净的真空工艺过程，真空度高，适应恶劣工况，可抽取凝性、含颗粒物气体，且易做防腐处理，浙江珂勒曦动力设备有限公司在螺杆真空泵领域倾入了大量人力物力，其核心螺杆转子技术不仅让单级真空泵突破了0.1帕极限真空，防腐技术上多层镀镍和纳米技术，可以让真空泵轻松应对盐酸等高腐蚀介质环境，走在了世界领先行列。