随着社会科技的发展，越来越多的行业，对清洁真空、环保等的需求严格，要求避免返油漏油的污染，因此无油真空泵得到了快速地发展。因为起步较晚，很多企业用户对无油真空泵的印象仅仅停留在爪式真空泵、螺杆真空泵少数几类上。而事实上，无油真空泵涉及的种类可不止这些。

说起无油真空泵，首先提到的便是爪式真空泵。它是针对电子半导体工业而研制开发的干式真空泵，适应清洁真空需求，并且具有自行开闭的阀门效果，具备较高的效率。

其次就是螺杆真空泵。螺杆真空泵与爪式真空泵一样都是非接触式的无油真空泵，泵腔内不含油、水等物质，同时转子间存在间隙，因此对颗粒物、可凝性气体具有一定的耐受性。同时对比爪式真空泵，因为不具备类似阀门的结构，效率上有所欠缺，但其气道通顺、转子结构简单，适应性更好，因此两者相比各有优势。

涡旋式真空泵的研制生产主要集中与美国、日本以及英国，因此国内很多企业都不了解这种无油真空泵。它抽速较小，较多地应用与分析仪器、半导体芯片生产线、科研设备中，以及作为分子泵与小型低温泵的前级泵出现。

罗茨真空泵。罗茨真空泵种类较多，分湿式、干式以及直排大气型、普通型、多级罗茨等等，因此造成了一些用户对它的误解。应用于中高真空的机械增压泵以及多级罗茨泵其实都是无油真空泵，且抽气量大，应用广泛。

无油旋片真空泵与无油活塞真空泵（往复泵）。虽然常见旋片真空泵与活塞真空泵，在泵腔内都是有油介质参与的，但它们也可以通过采用自润滑材料实现无油运作，成为无油真空泵。另外往复泵里的隔膜真空泵，也有无油型的。

涡轮分子泵。它是一种原应用于超高真空的无油真空泵，随着向高出口压力、高流量方向发展，应用范围逐渐向中高真空领域发展。

以上几种就是目前常见的几大无油真空泵种类。此外还有低温泵、吸附泵等可以实现清洁无油真空环境的气体捕集泵，但通常不会把它们归入到无油真空泵里去，所以在此也不再作列举了。